第231章 歷史性时刻,命名逐光【二合一求订阅】
    “我说老贺,今天居然这么平静,可有点不太像你了。”
    12月10日,周四。
    微电子装备总部大楼,毫米级实验室內,丁顺安看著面色淡然的贺鹏涛,忍不住主动搭话询问。
    经过將近两个月的研发,燕京材料研究院方面,成功製造出多环结构光源靶盘,並第一时间送到魔都。在分析研判后,决定於今天展开新一轮实验验证。
    由於这段日子里,微电子装备这边,也在全力攻坚集成电路等部件。
    可以说对国產极紫外光刻机的研发,已正式进入全面加速阶段。
    只要彻底解决稳定,且功率达到250瓦商用標准的极紫外光源,便又能往前迈出巨大一步。
    同时更好的反击海外舆论。
    而按照以往表现,面对这种国產极紫外光刻机,研发过程中的歷史性关键点,贺鹏涛往往会格外紧张。甚至不惜亲自上手操作,生怕中途出现什么岔子,导致实验过程中发生变故。
    但今天他却一改常態。
    除面色镇定外,还把更多的工作,交给了自己的学生潘耀去做。
    他此刻,把丁顺安的话听进耳中,下秒瞥过目光。
    理所当然答道:“我相信徐总师的方案,自然没甚好担心的。”
    “至於潘耀嘛,总要给年轻人锻炼的机会,否则如何快速成长,肩负起未来的科研任务。”前脚才刚说完,紧接著他又特意补充一句。
    “这话確实没毛病。”丁顺安点点头自语般应声。
    话落。
    视线下意识,看向身旁正站的笔直的徐铭。
    那份胸有成竹的自信,確实让人安心。
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    回想自己刚接触徐铭时,何尝不是和贺鹏涛一样。
    既操心国產极紫外光刻机的研发进度,就生怕如此年轻的徐铭,无法胜任国家重点项目总设计师的工作。
    直到上次验证极紫外光源时,过程中还忐忑不已。
    可现在却內心坦然,就像是提前看到了实验结果,认定必然成功。
    说实话刚意识到这种想法时,他自己都嚇了一跳,毕竟这对一位资深院士来说確实不应该。
    科研实验是严谨的,在没有看到最终结果前,任何情况都有可能发生。
    失败更是再正常不过。
    但偏偏受徐铭的影响,形成了这份信心。
    只能说徐铭展现出来的天赋和水平,实在太超出常人有限的认知,让原本几乎不可能做到的难题,变成了一个个的现实。
    徐铭听著两位老院士的对话,並未开口参与交流。
    他身为项目总设计师,儘管璇璣系统那边,仍面临著隨机几何分析框架的构建证明,然像今天这样,关乎著核心光源系统的实验,肯定还是要亲临现场坐镇的。
    所以在同苏振豪,安排好燕京那边的事宜,便专程赶回来一趟。
    在提出这项新的,获得稳定极紫外光源的方法时,他便有了改变光源靶盘结构,来提高光源功率的想法。
    既然50瓦功率的光源都验证成功,那么这次显然也不会有问题。
    確实不需要太担心。
    就当他念头停留在这里,只见潘耀迈步走过来,驻足后立即开口进行报告。
    “徐总师。”
    “演示装置和多环结构光源靶盘,以及雷射设备,都安装检测完毕,隨时可以开始实验。”
    “您下指令吧。”
    徐铭闻言正了正脸色,接著不再有任何迟疑。
    嘴唇微动吐出几个字。
    “验证开始。”
    潘耀强安耐住激动回道:“是徐总师。”
    话音落下的同时,立刻转身回到实验装置控制系统屏幕前,在工程人员的操作下,正式启动雷射设备。
    透过观察窗,看向实验室內的那台演示装置。
    只见从多个雷射设备中,同时发射出一束高强度且高重复频率的近红外雷射,在照射到高速旋转的光源靶盘上后,雷射在每一个点上瞬间激发耦合態。
    辐射出稳定的极紫外光。
    与此同时。
    贺鹏涛和丁顺安两位院士,也难以继续保持平静,面部表情上隱隱浮现出激动之色。
    目光牢牢紧盯著,屏幕中实时反馈的数值。
    甚至下意识念出声来。
    “辐射出的光源波长,依旧为13.5纳米,属於极紫外光波段。”
    “输出光源稳定在80瓦————”
    “120瓦————
    ,“200瓦——
    “250瓦,我们验证成功了!”
    隨著期望的数字终於出现,在声音落下瞬间,制室內顿时爆发出热烈的掌声,庆祝这一里程碑式重要时刻。
    “我早就说过,徐总师的方案没问题。”贺鹏涛待大家的掌声落下,抬手轻擦了下湿润的眼角,毫不掩饰堆在脸上的喜悦之情。
    旁边的丁顺安,同样內心激动不已。
    视线依旧锁定在那台毫米级演示装置上,心情复杂连连感慨。
    “从我国开始重点研究光刻机,到现在多少年了,总算实现了可商用的,足以领先世界的核心光源系统,我这辈子没啥遗憾嘍。”
    “才只是成功验证了核心光源系统,你就没遗憾了,起码也要看到咱们的极紫外光刻机问世。”贺鹏涛笑著接过话茬,跟在丁顺安后面补充了两句。
    丁顺安附和道:“有徐总师在,这是迟早的事。”
    说完两人转头看向徐铭。
    “徐总师,请允许我代表所有光机所人员,由衷向你表示感谢。”贺鹏涛最先开口道:“没有你的物理理论,我们根本不可能这么快,便攻克稳定功率的极紫外光源。”
    “仅这一项理论成果,就起码让咱们少走了几年,甚至十几年的弯路。”丁顺安也没沉默。
    面对两位院士的如此称讚,徐铭反应更快,连忙出声回应。
    “两位院士言重了,既然这个担子交给我,那我自然会尽最大努力做好。”
    “何况后面还有更重要的工作,需要我们大家完成。”
    把热烈氛围推向高峰。
    接下来的时间,实验室交给了潘耀负责。
    继续进行光源实验,好记录更加详细的数据,用於之后极紫外光刻机核心光源系统的组装。
    徐铭则和贺鹏涛与丁顺安两位院士,来到办公室安排后续工作。
    “下一步我们微电子装备,就会正式把新的极紫外光源技术,应用到光刻机的核心光源系统上,另外双工件台控制系统和计量检测系统,也都在同步的攻坚中,这些年集团的研究可不是一点成果没有。”
    办公室內丁顺安首先发言,在讲到最后一句时,能感受到话语中的自信。
    春城光机所擅长光刻机的核心光源系统,微电子装备却是主攻其他部件技术o
    尤其作为国產光刻机主力研发团队,肯定在部分领域也有著独到之处,甚至並不落后海外技术多少。
    如今最困难的极紫外光源被顺利解决,就好比在两截道路中间的大山中,打通了一条可通行的隧道,当车辆全速行驶起来,距离终点站又岂会远。
    贺鹏涛虽来自春城光机所,但对於微电子装备方面的研究还是比较认可的。
    尤其现在还进行了资源整合。
    闻言也当即讲出自己的看法和决心。
    “眼下我们有了极紫外光源,並且还是比轰击锡滴更加高效容易的技术,根据国內技术整体评估,我看最多两年时间,就能成功组装出首台国產极紫外光刻机。”
    “阿斯麦公司的新一代极紫外光刻机,恐怕也会在两三年时间內发布。”丁顺安想到什么接过话茬补充。
    贺鹏涛笑呵呵回复句。
    “那就刚好比一比,看看谁的极紫外光刻机,综合性能更加领先。”
    徐铭听完两人的对话,嘴角也不由得微微上扬,对阿斯麦公司的光刻机,还真涌现出些许期待。
    他也想看看,採用了全新物理现象理论,研发出的极紫外光刻机究竟能达到何种水准。
    估摸著拿下阿斯麦在行业中的地位,恐怕不会太难。
    思维思忖至此,他很快轻微摇了下头,暂时把这件事拋在脑后,主动提起接下来的正事。
    “后续极紫外光刻机的研发,就还拜託贺院和丁院来坐镇负责了,如果遇到什么技术瓶颈的话,隨时通知我参加研討会商议解决方案。”
    “等璇璣系统的开发稳定后,我会多关注这边的。”
    目前全新隨机几何分析框架的构建,正值最后的关键几个证明步骤。
    等完成此理论,便能正式著手开发新的算法。
    在这种情况下,他肯定不能逗留在微电子装备,今天下午就要赶回燕京继续推导。
    主要璇璣系统和光刻机,都是高端晶片製造產业链中的重要环节,只不过一个属於前端一个属於后端。
    想实现百分之百国產化升级,就必须把璇璣系统和国產极紫外光刻机,同时研发出来才行,否则单独离开哪项都无法发挥出自身的作用。
    无论贺鹏涛还是丁顺安,他们自然都清楚,璇璣系统的重要性。
    不过在听完徐铭这番话之后,互相对视一眼,依旧能看出彼此瞳孔中的疑惑。
    本以为徐铭选择把精力放在新一代eda上,只是藉助总设计师的身份,好让国內eda公司更好整合技术,加快全新一代极紫外光eda工具算法问世。
    结果在璇璣系统项目发布后,他们才意识到,徐铭不单单是负责人那么简单。
    而是亲自参与了璇璣系统的开发。
    很难想像只是有著被燕大信院培养的经歷,如何能去完成复杂庞大的eda软体。
    要说一点不担忧,那绝对是假的。
    毕竟这要是等国產极紫外光刻机问世,配套的璇璣系统却迟迟无法完成,说不定反倒成了为海外做嫁衣。
    若当初徐铭转到信息算法领域也就罢了,关键精力基本全在数学和物理学科上。
    於是念头在脑海中快速闪过下,贺鹏涛院士实在没忍住心里的好奇,主动开□向徐铭確认了一句。
    “徐总师。”
    “你真的在参与璇璣系统的开发工作?”
    说著便把目光牢牢锁定在徐铭身上,迫不及待等待徐铭的回答。
    就连旁边的丁顺安也是同样动作。
    徐铭看到两人表现,自然猜到他们在担心什么,不过话到嘴边却只是点头承认下来。
    其余並未过多解释。
    “没错。”
    他暂时卖了关子,紧隨其后又笑著补充。
    “你们可要多加油才行,否则璇璣系统到时候,可会比国產极紫外光刻机先发布。”
    不多时。
    当一些工作安排交接完成,徐铭便不再继续逗留,很快离开动身返回燕京。
    大家在恋恋不捨的,目送徐铭身影,从自己视野中消失之后,贺鹏涛和丁顺安选择短暂留在原地,回想起刚才办公室里的话开口交流。
    “老贺,你说徐总师,能开发出璇璣系统吗?”
    “徐铭的天赋你又不是不知道,既然他有这个把握和底气参与,说不定真会在信息算法领域也做出贡献。”
    “眼下咱们的当务之急,是要儘快组装出,首台国產极紫外光刻机,我可不想被燕京那边领先。”贺鹏涛笑著丟下这句话便转身离开不再言语。
    只有丁顺安不知想到了什么,望著徐铭离开的方向低声感嘆一句。
    “若是在信息算法领域也这么强,那可就太恐怖了。”
    针对250瓦稳定极紫外光源的验证成功,微电子装备这边依旧没有选择隱瞒,在第二天的上午便通过专门註册的官方帐號进行宣布。
    同时还面向全网,徵集国產极紫外光刻机的名字。
    距离公布璇璣系统项目,才过去两个月左右,在极紫外光源上又取得了重大突破。
    对网友们来说,无疑是最大的惊喜。
    越发相信国產极紫外光刻机,用不了多久,就会面向国际舞台发布。
    情绪高涨激烈之下,大家踊跃参与名字徵集,最终经各方面综合考量,將百分之百国產的,首台极紫外光刻机命名为逐光”系列。
    而隨著璇璣系统和逐光的先后公布,海外主流媒体也终於有些意识到不对劲。
    无法想像號称人类文明科技结晶的光刻机,其核心光源系统为何如此简单,前后不过几个月的时间便被攻克。
    这种进展速度,不由得让人联想到,当初突然首飞並在极短时间內服役的歼2
    0战斗机。
    不过类似的担忧仅出现一瞬,便被清理出去。
    最终在一些媒体的报导,和行业人士的评价下,称华方的极紫外光源不等同於传统的极紫外光。
    其光刻效果也相差极大。
    表示就算掌握这样的稳定光源,研发出的光刻机也无法保证晶片的光刻效果。
    仍旧和阿斯麦的產品有著很大差距。
    根本不需要担心。
    然而这回国內,无论官方还是网友们,都对海外媒体的自娱自乐懒得去搭理。
    反正究竟谁是小丑,等双方的光刻机亮出来,自然是清清楚楚。
    至於备受关注和討论的徐铭,就更加不会被外界的环境所影响,他从微电子装备回到燕大数院,便直接把自己关在办公室屋子里,完全沉浸到新隨机几何分析框架的构建证明中。
    伴隨著时间一分一秒流逝,步骤愈发完善同时,也再次获得新的学科经验值。
    本来正常情况下,凭藉他如今的数学学科等级,想获得经验值不是一件很容易的事,就算去处理较难的问题也会非常有限。
    尤其涉及到擅长的数论和代数几何等分支。
    但眼下构建的新理论体系,却属於隨机几何,严格意义上来讲的话,其工作实质相当於是將,微分几何和隨机分析在非平凡层面进行了深度融合。
    转眼將近半个月过去。
    徐铭的证明工作,也顺利来到尾声。
    “接下来需要在流形上,定义全新的隨机场论,並对隨机几何的平均场宏观观测。”
    这天理教楼办公室,徐铭站在几块写字板前,大脑飞速运转使思维碰撞激发出灵感。
    口中自顾自低喃的同时,手上动作则越来越快,在指尖不断涌现出复杂,但严谨符合数学逻辑的公式和符號。
    “在流形(m,g)上,定义一个隨机標量场φ()。”
    “这个场代表有效反应完成度”。”
    “场的演化由一个新型的隨机偏微分方程描述————”
    “导出宏观粗糙度r(q),与底层流形曲率功率谱之间的解析映射关係。”
    “由上可得在一定的標度极限下,无限多个隨机微流形的统计效应,可以等价於一个有效平均流形,上的一个確定性但具有分数阶导数的反常扩散方程。”
    当结论的最后一个字写完,徐铭停下手上动作,原本认真严肃的神情,逐渐浮现出一抹欣喜笑容。
    “这些天的努力总算没有白费,终於搞定了。”
    从正式提出璇璣系统,到今天十二月底,总算成功证明了构建的隨机几何分析框架理论。
    也就是说藉助他的这项理论,待完成开发出超导求解算法后,工程师只需测量或模擬宏观的粗糙度,就可以反向去推断出光刻胶的几何隨机性缺陷,反之也可以通过调整化学配方,来直接预测宏观线条的质量。
    这种效率和作用,远不是海外的主流算法可以相比。
    毕竟能够像他这样,为了一个算法,直接构建出全新的数学理论工具。
    相信放眼全球,都找不出来第二个。
    在確定证明结论没有问题后,徐铭整个人迫不及待。
    简单收拾了一下,便急匆匆出门,准备前往华天科技向璇璣系统项目组宣布这个消息。
    因为这代表著,璇璣系统最核心的算法,终於能正式开始编写开发。
    如果放在以前的时候,他构建出新的数学工具,肯定会先告诉院里的田纲院士和老师张鲁平,並用最快的速度把框架体系整理为理论论文发表。
    毫不夸张的讲,儘管他构建的隨机几何分析框架的理论工具,知名度上或许不如霍奇猜想。
    但实际意义和价值,对学界来说却是巨大的。
    恐怕发表之后,又会引起新一轮,数学界的大地震。
    奈何现在的话,他的目標是儘快开发出璇璣系统,可没时间去撰写纯数理论论文。
    只能先把这件事往后放放。
    等璇璣系统完成,首台国產逐光极紫外光刻机问世再去撰写论文,將之发表在数学学报上。
    倒也算他这个副主编,为自家数学期刊崛起做贡献。
    另外该说不说,自霍奇猜想被证明后,数学界虽涌现出不少,对导出平展motivic上同调復形理论的研究,带来的热度和影响力却非常有限。
    似乎他这个数学皇帝不出手,学界就没盛会了,当真是独自站在山巔的孤独o
    约摸花了半个小时,徐铭乘坐专车,顺利到达华天科技公司所在的科技园区。
    刚走进去便见很多人主动打招呼。
    “徐总师好。”
    “徐总师,需要我为您喊人吗?”
    “告诉苏组长,让他集合所有项目成员,五分钟后在高层会议室召开项目会议。”徐铭在一位助理面前停下脚步沉声拋出两句话。
    后者看到今天徐铭突然过来,且面色严肃,哪里会不知道是有重要事情。
    於是不敢有丝毫耽搁,立马过去安排。
    “好的徐总师,我这就去联繫。”
    徐铭目送对方离开,便直接乘坐电梯,先一步前往最高层的会议室。
    这段时间他虽主要待在燕大,但对於华天科技这边已然非常熟悉,很快便来到会议室坐在主座位置上。
    差不多他屁股刚坐下没有多久,便见苏振豪等人几乎是小跑著涌了进来。
    连其中几位稍微上年龄的成员都不例外。
    “徐总师,是有新任务安排吗?”
    苏振豪近前后,整个人都顾不上坐下,连忙向徐铭主动询问起来。
    两个多月时间过去,项目组对新的物理模型,已然能熟练进行仿真,但因缺少设计方案中的算法,虽拥有很高的仿真精度却需要极大的计算量。
    按照这种情况继续下去,想开发出璇璣系统,將会耗费大量时间和超算资源。
    因此在得知徐总师突然召开项目会议,顿时便意识到了什么,强压著心里面涌现出来的激动和兴奋,用最快速度来到楼上会议室。
    “大家先坐吧。
    徐铭嘴角掛著淡淡笑容,先招呼眾人坐下,然后方宣布令人期待的好消息。
    “今天的项目会议很简单,內容只有一件事,那就是从明天开始全力开发璇璣系统的核心算法。”
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